本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分（氫氣、氯化氫、三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅）的測定。本標(biāo)準(zhǔn)的檢測范圍為體積分?jǐn)?shù)0.1%～100%。
YS/T 983-2014多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法
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YS_T 983-2024《硅多晶還原爐尾氣成分的測定 氣相色譜法》
色譜柱：
長1-2米，內(nèi)徑5mm，內(nèi)填硅烷化材料
應(yīng)用：安捷倫，島津，賽默飛，瓦里安，布魯克，PE，磐諾，東西電子，北分瑞利，福立，科創(chuàng)，華愛，川儀，天美，天瑞
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Haohan??GC System 氣相色譜儀
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現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室始終面臨各種各樣的實(shí)際問題，需要采用切實(shí)可行的方法予以解決。處理復(fù)雜樣品基質(zhì)、保持?jǐn)?shù)據(jù)完整性以及滿足用戶培訓(xùn)需求等問題可能導(dǎo)致大量的時(shí)間和資源浪費(fèi)。
???Haohan?7 GC System 氣相色譜儀，?是浩瀚為這些問題提供的一款，快速氣相色譜儀，在環(huán)境，生物，食品，醫(yī)藥，石化，衛(wèi)生，院校等行業(yè)得到應(yīng)用.
???Haohan??GC System 氣相色譜儀詳情：
1.?工作條件
1.1.?溫度：?5°C -- 35°C
1.2.?濕度：5 –?85%
1.3.?電源：AC?220±10%；50±0.5Hz
2.?柱溫箱
2.1.?溫度：室溫5°C -- 400°C
2.2.?程序升溫：7階程升，可擴(kuò)充16階
2.3.?在5min內(nèi)，從400°C降溫到50°C
2.4.?溫度精度：室溫每波動(dòng)1°C ，柱溫箱的溫度波動(dòng)＜0.1°C
2.5.?雙通道柱流失補(bǔ)償
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